晶片尺寸
300mm
定位精度
高精度形式
XY:±0.05mm,θ:±0.075deg
标准形式
XY:±0.2mm、θ:±0.1deg.
对准时间
7.5sec.
3.5sec.
清洁度
ISO Class 3 (ISO-14644)
重量
7KG
UT-AFX3000NM UTM-R3700F
OFH-4100 EG-303
(■有生产实际)