达谊恒精密机械(常熟)有限公司
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SPR-801S
   详细介绍
2轴圆柱坐标型
SPR-801S的特点
1 采用AC伺服马达以及通过最合适的加减速控制来实现高精度·高速搬运。
2 通过采用磁流体密封,可以对应高真空环境。
3 缩小最小旋转范围,为传输腔室的小型化作出贡献。
   参数详解 ※1
机器人形状  2轴圆柱坐标型
重量  35kg
可搬运重量  3kg以下含endeffector·holder)
动作范围 X轴  1080mm
θ  330deg.
手臂长  360mm
动作时间        
(不含通信时间)
X轴  2.0sec./1080mm
θ  2.0sec./180deg.
手臂水平精度(下垂  P-P 4mm以下(安装holder,从法兰盘开始360mm的位置)
手臂轨迹精度(蛇行)  ±2.0mm以下(安装holder,从法兰盘开始360mm的位置)
重复位置精度  XYZ方向:±0.2mm以下(安装holder,从法兰盘开始360mm的位置)
清洁度  ISO Class 4
耐真空度  1.0×10-6Pa
周围温度  真空侧::15℃~70℃   大气侧:15℃~35℃
耐振动  4.9m/sec.²以内(0.5G以下)
面板搬运机械手(真空)
可搬重量 LCD尺寸 Single Arm Dual Arm
无Z轴 有Z轴 Link Slide
3kg G3SPR-801S SPR-804S    
10kg G4SPR-806S      
15kg G4.5SPR-811S SPR-8110 pdf    
50kg G5   SPR-8109 pdf SPR-8501S  
G6     SPR-8522 pdf  
70kg G6    SPR-8508  
100kg G7   SPR-8111 pdf    
150kg G6 SPR-8112 pdf  SPR-8504  
G6       SPR-8537 pdf
G7.5      SPR-8535
200kg G8.5       SPR-8534 pdf
300kg       SPR-8524 pdf
500kg G10        

(有生产实际)

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