最新发售OFH-4102i-具有晶圆外沿缺口检测能的调准器

作者：发布时间：2014-07-16 04:07 浏览量：2828

最新发售OFH-4102i

具有晶圆外沿缺口检测能的调准器

此次于2014年7月正式发售【ACTRANS】系列的新产品---具有晶圆外沿缺口检测功能的调准器 (晶圆位置校准装置)。

本次开发的调准器，在业界是首次能够做到在晶圆位置中心对合动作中时检测出晶圆外沿上的缺口（目前正在申请专利中）。其可以在搬运过程中检测到晶圆破损的前兆“CHIPPING”（微小的缺口）和由于颗粒、工程不良导致出现毛刺的晶圆，能够事先预防半导体制造设备内的晶圆破损等故障，为确保生产线的稳定生产做贡献。

■ 主要用途　　

半导体制造设备（晶圆加工相关装置、前道工序设备、检查设备等）

■ 新产品主要特征・规格

1.可低成本实现晶圆外沿缺口的检测。
对于担心晶圆外沿上的CHIPPING和毛刺导致工序发生混乱,

想对此进行特别检查的客户来说，能够做到低成本引入。

2.能够检测出因为晶圆破损以及微粒的原因造成的

“小缺口”和“毛刺” (宽1.0mm、深0.2mm以上)。

3.晶圆的检测数据能够通过串联I/F从传输至HOST和PC，便于管理。

4.调准器的外观和现有机种｢OFH-4102｣相同。

作为｢OFH-4102｣的可选选项，｢晶圆外沿缺口检测｣功以后期追加。

5.中心位置对合动作和缺陷检测同时进行，通常可以在中心位置对合动作时间内完成检测。

6.考虑到对环境的影响，进行RoHS指令对应。

■ 发售日期

2014年7月

■ 咨询处

达谊恒精密机械（常熟）有限公司营业部

联系人：李磊

TEL：0512-52267653　

■产品规格