机器人形状 | 4轴圆柱坐标型 | ||||||
重量 | 2650kg | ||||||
可搬质量 (含endeffector·holder) |
X1轴 | 80kg以下 | |||||
X2轴 | 120kg以下 | ||||||
动作范围 | X轴 | 3250mm | |||||
θ轴 | 340deg. | ||||||
Z轴 | 820mm | ||||||
动作时间 (不含通信时间) | X轴 | 2.4sec./3250mm | |||||
θ轴 | 3.1sec./180deg. | ||||||
Z轴 | 2.2sec./820mm | ||||||
手臂水平精度(下垂) | P-P 10mm以下(安装holder,从法兰盘开始2900mm的位置) | ||||||
手臂轨迹精度(蛇行) | ±5mm以下(安装holder,从法兰盘开始2900mm的位置) | ||||||
重复位置精度 | XY方向:±1.0mm以下 | ||||||
Z方向:±0.5mm以下 | |||||||
(安装holder,从法兰盘开始2900mm的位置) | |||||||
清洁度 | ISO Class 4 | ||||||
耐真空度 | 1.33×10-5Pa | ||||||
周围温度 | X轴:20℃~160℃ | ||||||
θ・Z軸:15℃~80℃ | |||||||
耐振动 | 4.9m/sec.²以内(0.5G以下) |
面板搬运机械手(真空) | |||||
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可搬重量 | LCD尺寸 | Single Arm | Dual Arm | ||
无Z轴 | 有Z轴 | Link | Slide | ||
3kg | G3 | SPR-801S | SPR-804S | ||
10kg | G4 | SPR-806S | |||
15kg | G4.5 | SPR-811S | SPR-8110 | ||
50kg | G5 | SPR-8109 | SPR-8501S | ||
G6 | SPR-8522 | ||||
70kg | G6 | SPR-8508 | |||
100kg | G7 | SPR-8111 | |||
150kg | G6 | SPR-8112 | SPR-8504 | ||
G6 | SPR-8537 | ||||
G7.5 | SPR-8535 | ||||
200kg | G8.5 | SPR-8534 | |||
300kg | SPR-8524 | ||||
500kg | G10 |
(■有生产实际)